HQDIELECTRICS 제조사 소개

HQDIELECTRICS 회사 및 제품 소개

회사 개요

HQ-Dielectrics GmbH는 독일의 독립적인 반도체 제조 장비 및 공정 기술 개발 회사입니다. 전공정(FEoL) 박막 공정 및 혁신적인 공정 엔지니어링을 위한 솔루션을 제공하며, 150mm 이하부터 300mm, 450mm까지의 웨이퍼 크기를 지원하는 제조 장비 및 자동화 솔루션을 공급합니다. 또한 SEMI 표준 기반의 팹 자동화를 포함하며, EU 자금 지원 프로젝트에도 참여하고 있습니다. 주요 제품으로는 급속 열처리(RTP) 장비인 Hemera HT, 저온 마이크로파 플라즈마 산화/질화 시스템인 Hyperion LT, 다이아몬드 기반 포토닉 칩 제작용 Diamond Cube, 그리고 파이로미터, 게이트 밸브, 플라즈마/마이크로파 센서 등의 부품이 있습니다.

주요 제품

- Hemera HT Rapid Thermal Processing (RTP) Equipment: 양면 램프 필드 진공 챔버 기반의 급속 열처리(RTP) 장비로, 자동 또는 수동 로딩이 가능하며 최대 200mm 웨이퍼 크기를 지원합니다. 자동 핸들링 시스템(EFEM)은 최대 300mm 웨이퍼 크기까지 옵션으로 제공되며, 50-100mm 소형 웨이퍼, 다중 웨이퍼 처리, 와이드 밴드갭 반도체용 자동 서셉터 또는 박스 핸들링도 가능합니다.

- Hyperion LT Low Temperature Microwave Plasma Oxidation/Nitridation System: 독특한 마이크로파 플라즈마 스틱 어레이와 선택적 하부 텅스텐 할로겐 램프 필드를 갖춘 저온 마이크로파 플라즈마 산화 및 질화 시스템으로, 50~300mm 웨이퍼 크기를 지원합니다.

- Diamond Cube: 다이아몬드 기반 포토닉 칩 제작을 위해 설계된 1입방미터 크기의 장비로, 고진공에서 샘플을 가열하여 다이아몬드 표면의 원치 않는 산화 공정을 억제합니다.

- Components (Pyrometers, Plasma/Microwave Sensors, Gate Valve, Loadport): 시스템에서 사용되는 개별 부품을 개발 및 공급합니다. 파이로미터는 실리콘 웨이퍼 또는 흑연/SiC 박스의 비접촉 온도 측정을 위해 다양한 파장과 측정 원리를 제공하며, 플라즈마/마이크로파 센서는 플라즈마 점화를 감지합니다. 또한 진공 챔버와 대기 장비를 연결하는 게이트 밸브와 150/200mm 로드포트(슬롯 스캐너 포함)도 제공합니다.

주요 서비스

- Equipment Engineering and Manufacturing: 반도체 생산 가치 사슬을 위한 장비 엔지니어링, 제조 및 기술 개발 서비스를 제공합니다. 신규 및 기존 프로젝트를 지원하며, 양산용 제조 도구 또는 부품 개발, 기존 생산 라인(150mm 이하, 최대 300mm, 450mm)의 자동화 솔루션 재생 및 적응을 수행합니다.

- Fab Automation: SEMI 표준 기반의 팹 자동화 솔루션을 제공합니다.

- EU Funded Project Participation: 첨단 기술 및 반도체 장비 평가를 위한 다양한 EU 자금 지원 프로젝트에 파트너로 참여하고 있습니다.

- Process Technology Development: 고성능 칩 제조 공정에서 Si 및 SiC 기판의 산화물 신뢰성을 지속적으로 개선하기 위한 공정 기술을 개발합니다.