TOKYOELECTRONIC 제조사 소개

TOKYOELECTRONIC 회사 및 제품 소개

회사 개요

도쿄일렉트론(Tokyo Electron)은 전 세계 반도체 생산의 대부분을 담당하는 반도체 제조 장비를 생산하는 기업입니다. 증착(Deposition), 코팅/현상(Coater/Developer), 식각(Etching), 세정(Cleaning) 등 반도체 생산의 핵심 공정 장비와 다양한 공정 영역에서 글로벌 시장 점유율 1위를 차지하고 있으며, AI 및 로봇 기술과 데이터를 결합한 DX 솔루션을 통해 장비 및 현장 운영의 생산성을 높이고 있습니다. 또한 5년간 1.5조 엔의 R&D 투자를 계획하며 고성능·저전력 반도체 기술과 탄소 중립(Decarbonization)을 실현하는 디지털 및 그린(Digital & Green) 사회 구축을 목표로 하고 있습니다.

주요 제품

- Lithography & Patterning Systems: EUV 리소그래피용 초미세 패터닝을 위한 Gas Cluster Beam System인 Acrevia™와 300mm 웨이퍼 본딩 장치용 Extreme Laser Lift Off System인 Ulucus™ LX를 포함하는 리소그래피 및 패터닝 장비군.

- Deposition & Thermal Processing Systems: Single Wafer Deposition Systems인 Episode™ 1 및 2 DMR/QMR, 300mm 웨이퍼용 Batch Thermal Processing System인 EVAROS™, 그리고 Sputtering System인 LEXIA™-EX를 아우르는 증착 및 열처리 장비군.

- Coater/Developer & Cleaning Systems: 300mm 웨이퍼용 Coater/Developer인 CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro DICE™를 중심으로 한 코팅/현상 및 세정 장비군.

- Wafer Thinning & Testing Systems: 300mm 웨이퍼 제조용 Wafer Thinning System인 Ulucus™ G와 New Device Prober인 Prexa™ SDP를 포함하는 웨이퍼 연마 및 테스트 장비군.

주요 서비스

- DX & AI Solutions: 장비 및 현장 운영 생산성을 향상시키는 DX Solutions Concept인 Epsira™와 개발·생산·운전 데이터를 연결하여 AI로 분석 및 제어 모델을 훈련하는 AI 및 로봇 기술 솔루션.