TOKYOELECTRON 제조사 소개

TOKYOELECTRON 회사 및 제품 소개

회사 개요

도쿄일렉트론(Tokyo Electron)은 반도체 생산 장비 제조 전문 기업으로, 증착(Deposition), 코터/디벨로퍼(Coater/Developer), 식각(Etching), 세정(Cleaning), 프로버(Prober), 본더(Bonder) 등 반도체 제조 핵심 공정 전 분야에 걸쳐 장비를 제공합니다. AI 및 로봇 기술을 활용한 데이터 분석과 자동화 유지보수, DX 솔루션을 통해 장비 및 현장 운영 생산성을 극대화하며, 저전력 고성능 반도체 개발과 탄소 배출 감소를 통한 지속가능한 'Digital & Green' 사회 구현에 주력하고 있습니다. 연 1.5조 엔의 R&D 투자와 글로벌 연구 거점을 바탕으로 반도체 기술 혁신을 선도하고 있습니다.

주요 제품

- Coater/Developer & Lithography Systems: 300mm 웨퍼 코팅 및 현상 공정용 CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro DICE™와 EUV 리소그래피용 초미세 패터닝 시스템 Acrevia™를 포함하는 리소그래피 및 코팅/현상 장비군입니다.

- Deposition & Thermal Processing Systems: 300mm 웨퍼용 일괄 열 처리 시스템 EVAROS™와 단일 웨퍼 증착 시스템 Episode™ 1, Episode™ 2 DMR/QMR을 아우르는 증착 및 열처리 장비군입니다.

- Thin Film, Sputtering & 3D Integration Systems: 스퍼터링 시스템 LEXIA™-EX와 300mm 웨퍼 본딩/박막 공정용 Ulucus™ LX 및 Ulucus™ G를 포함하는 박막 증착 및 3D 통합 장비군입니다.

- Probing & DX Operation Solutions: 신규 디바이스 프로버 Prexa™ SDP와 장비 및 현장 운영 생산성 향상을 위한 DX 솔루션 Epsira™를 포함하는 테스트 및 디지털 전환 솔루션군입니다.

주요 서비스

- AI & Robotics Data Solutions: 개발, 생산, 운영 데이터 연결과 AI 분석을 통해 장비 제조 자율화와 유지보수 자동화를 지원하는 로봇 및 데이터 분석 서비스입니다.

- DX & Field Operation Solutions: 장비 및 현장 운영의 생산성을 극대화하기 위한 디지털 전환(DX) 컨셉트 및 운영 지원 서비스입니다.