SENTECH 제조사 소개

SENTECH 회사 및 제품 소개

회사 개요

SENTECH Instruments는 독일 베를린의 아들러스호프 과학기술 단지 소재 기업으로, 반도체 연구 및 산업용 저손상 플라즈마 공정 시스템과 박막 계측 도구를 전문으로 하는 세계적 시장 선도 기업입니다.

주요 제품

- Plasma Etching Systems: RIE, ICP-RIE, DRIE, 극저온 식각, ALE 등 다양한 식각 기술을 지원하며, SI 500, SI 591, Etchlab 200 등 모델군을 포함하는 저손상·고선택성 식각 솔루션입니다.

- Deposition Systems: 유도결합 플라즈마 화학기상증착(ICP-CVD) 및 원자층 증착(ALD) 시스템으로, 반도체 공정용 고품질 박막 증착을 위한 저손상 공정 솔루션을 제공합니다.

- Thin Film Metrology Tools: 분광 타원측정법, 분광 반사율 측정, 레이저 타원측정법, 실시간 계측/종점 감지 및 컴팩트 테라헤르츠 시간영역 타원측정기(Compact Terahertz Time-Domain Ellipsometer) 등을 포함하여 정밀하고 일관된 박막 품질 관리 결과를 제공합니다.

- Cluster Configuration: 플라즈마 식각 및 증착 공정을 통합한 클러스터 구성 시스템으로, 공정 효율성과 유연성을 높이는 모듈형 솔루션입니다.

주요 서비스

- Application Support: 시스템 구매 단계부터 수명 주기 전체에 걸쳐 공정 샘플 처리, 사용자 교육, 장치 시연 및 기술 상담을 제공하는 전담 애플리케이션 지원 서비스입니다.

- Technical Service & Sales Network: 글로벌 영업 네트워크를 통한 시스템 도입 지원과 설치/유지보수를 위한 기술 서비스, 그리고 시스템 보안(Cyber Security) 관리를 제공합니다.