SENTECH Instruments GmbH 제조사 소개

SENTECH Instruments GmbH 회사 및 제품 소개

- 본사 위치: 독일 베를린 아들러스호프(Adlershof) 과학기술단지

- 주요 사업: 반도체 연구 및 산업을 위한 저손상 플라즈마 공정 시스템 및 박막 계측 장비의 개발, 제조, 판매

- 주요 제품:

- 플라즈마 식각 및 증착 시스템 (예: SI 500 D ICPECVD, SI 500 ICP-RIE)

- 박막 계측 장비 (예: SLI 670 레이저 간섭계)

- 클러스터 공정 장비 (플라즈마 식각/증착 모듈, 트랜스퍼 챔버, 로드락 등)

- 응용 분야: MEMS, 광전자, 전력 반도체(GaN, SiC), 센서, 품질 관리

- 서비스: 기술 지원(원격 헬프데스크, 현장 엔지니어 지원), 설치, 유지보수, 수리, 고객 교육

- 특징: 30년 이상의 역사를 가진 글로벌 기업으로, 플라즈마 공정 기술 및 박막 계측 분야에서 세계 시장 선도 업체 중 하나