DENTONVACUUM 제조사 소개

DENTONVACUUM 회사 및 제품 소개

회사 개요

Denton Vacuum은 1964년부터 박막 증착(Thin Film Deposition) 및 식각(Etch) 기술을 선도해 온 기업으로, 반도체, 센서, 전력 소자, 에너지 저장 및 전송, EUV 리소그래피, 광전자, 디스플레이, OLED 봉지, 다이아몬드형 탄소 코팅 등 다양한 시장과 응용 분야를 대상으로 합니다. 이온 에너지 및 플라즈마 제어에 관한 28개의 특허를 보유하고 있으며, Infinity, Discovery, Voyager, Integrity, Phoenix, Versa, Research 등 여러 제품 라인을 통해 생산 현장에서 검증된 박막 증착 및 식각 장비를 제공합니다. 또한 응용 연구소(Apps Lab)를 운영하여 고객의 공정 개발을 지원하고, 서비스 계약, 업그레이드, 예비 부품 및 소모품 등의 서비스를 제공합니다.

주요 제품

- Infinity Series: 이온 빔 스퍼터링 및 이온 빔 식각 솔루션으로, 첨단 반도체 칩 제조에 필요한 정밀 에너지 제어를 제공합니다. Infinity FA System은 대면적 IC 디레이어링(delayering)에 탁월한 균일성과 최소 손상을 제공합니다.

- Discovery Series: 마그네트론 스퍼터링 솔루션으로, 센서 및 전력 소자에 사용되는 초박막 및 3D 표면 코팅에 적합합니다. Discovery Isoflux, Confocal, V 모델이 포함됩니다.

- Voyager Series: 웨이퍼 기반 플라즈마 이온 빔 CVD 시스템으로, 디스플레이 및 광전자 분야를 위한 최첨단 솔루션을 제공합니다. PE-CVD 및 PIB-CVD 모델이 포함됩니다.

- Integrity Series: 광전자 소자를 위한 고수율, 응력 제어, 높은 증착 속도, PID 제어, 최적의 결정립 크기 및 결정성을 제공하는 박막 솔루션입니다.

- Phoenix Series: 디스플레이, 조명, 재생 에너지 응용 분야의 높은 처리량을 지원하는 대면적 인라인 생산 시스템입니다. 최대 2미터 폭의 유연 및 경질 기판 처리를 지원하며, LC 및 PIB-CVD 모델이 포함됩니다.

- Versa Series: 고객의 공정 및 생산 요구에 맞춰 Denton의 모든 증착 및 식각 기술을 구성할 수 있는 고용량 웨이퍼 기반 시스템입니다.

- Research Series: 연구, R&D 및 품질 보증(QA) 응용 분야를 위한 다양한 박막 코팅 솔루션을 제공합니다. BenchTop, Turbo Desk V, DV-502, Desktop Pro, Explorer 등의 모델이 포함됩니다.

주요 서비스

- Field & Equipment Service: 전화 및 이메일 지원(월-금, 오전 8시-오후 5시 EST)을 제공하며, 필요 시 현장 지원(온디맨드 서비스, 예방 유지보수, 누출 감지, 교육)도 제공합니다.

- Service Agreements: 정기 또는 예방 유지보수, 장비 수리, 교정, 교육을 포함한 다양한 수준의 서비스 계약을 제공하며, 1년 또는 2년 약정으로 제공됩니다.

- Upgrades: 업그레이드, 신규 또는 교체 부품, 리퍼비시(refurbishment) 관련 정보를 제공합니다.

- Spares & Consumables: 예비 부품 및 소모품 교체를 위한 정보를 제공합니다.