Denton Vacuum 제조사 소개

Denton Vacuum 회사 및 제품 소개

- 설립 연도: 1964년

- 핵심 사업: 반도체 및 광전자 장치 제조를 위한 박막 증착 및 식각 공정 장비의 선도적 공급업체.

- 주요 제품:

- 박막 증착 시스템 (증발, 열증발, 마그네트론 스퍼터링, PE-CVD, 이온 빔 기술)

- 식각 및 프로파일링 장비 (예: Infinity FA System)

- 샘플 준비 및 in-situ 제어 솔루션

- 연구 및 품질 보증(QA)용 박막 코팅 솔루션

- 주요 기술: 플라즈마 이온 에너지 제어 기술을 통한 박막 증착 및 식각.

- 주요 적용 분야:

- 정밀 광학

- 리프트 오프 및 스텝 커버리지

- 양면 레이저 패싯 코팅

- 웨이퍼 레벨 패키징용 인듐

- 다이아몬드 유사 탄소(DLC)

- 금속화

- 의료용 코팅

- 주요 고객: ASML, Intel, Micron, Samsung, SK Hynix, IBM, Global Foundries, 3M, Apple, Boeing, Siemens, Texas Instruments 등 글로벌 혁신 기업 및 주요 연구 기관.

- 서비스: 장비 유지보수, 수리, 교정, 교육, 예방 정비, 기술 지원 및 소모품/예비 부품 판매.

- 특징: 60년 이상의 박막 기술 혁신 역사, 생산 현장에서 검증된 장비, 전용 애플리케이션 연구소(Apps Lab) 운영.