ULVACKIKO 제조사 소개

ULVACKIKO 회사 및 제품 소개

회사 개요

ULVAC KIKO, Inc.는 진공 기술을 기반으로 산업과 과학의 발전에 기여하는 종합 진공 장비 제조사이다. 1971년 Shinku KIKO로 출발하여 소형 진공 펌프를 중심으로 사업을 전개해 왔으며, 반도체·전자 사업과의 시너지를 목표로 기술 개발을 진행하고 있다. 컴팩트, 에너지 효율, 청정을 키워드로 한 환경 친화적 제품을 통해 대체 에너지, 보건, 복지, 의료 분야의 제품도 개발하고 있으며, 일본 내 사업과 함께 중국에서의 생산을 통해 글로벌화를 추진하고 있다. 주요 제품으로는 RDA 시리즈 다단 루츠형 진공 펌프(RDA-281HA)와 성막 장치용 옵션 부품, 진공 펌프용 옵션 부품 등이 있으며, 진공 펌프·성막 장치·옵션 부품 검색과 수리·유지보수, 지원 서비스를 제공한다.

주요 제품

- Multi-Stage Roots Type Vacuum Pumps (RDA Series): RDA 시리즈 다단 루츠형 진공 펌프. RDA-281HA 모델은 3엽 단면의 두 로터를 회전시켜 배기하는 드라이 진공 펌프로, 오일 회전식 진공 펌프와 동등한 성능을 가지며 대기압부터 전 압력 범위에서 작동한다. 수증기에 강하고 냉각수가 필요 없으며, 단상/삼상 전원을 하나의 모델로 대응하고, 슬라이딩 부품이 없어 수명이 길다. 실제 배기 속도 280 L/min, 도달 압력 ≦8.0×10⁻² Pa, 중량 38 kg, 흡기/배기구 직경 KF-25, 주위 온도 5～40℃, RoHS 적용, 수분 처리 능력 300 g/hr.

- Optional Parts for Vacuum Pumps and Deposition Systems: 진공 펌프 및 성막 장치용 옵션 부품군. 오일 미스트 트랩, 인라인 트랩, 오일 미스트 트랩 어댑터, 오일 미스트 세퍼레이터, 포어라인 트랩, 흡배기 필터, 필터 부착 흡기관, 진공 펌프 오일, 부르동관 진공계(ADT형, AT형), 흡기관, 어댑터(KF25, □40, □50 등), 배기관, 방진 고무, 오일 여과 시스템, 성막 장치 옵션 부품(추가 셔터, 방착판, 보조 펌프용 자동 리크 밸브, 벨자 커버, 벨자 홀더), 진공 배관용 부품, 체크 밸브, 진공 데시케이터, 전원 코드(100-240V, 100V, 100-120V, 200-240V용 등), 메인터넌스 키트 등을 포함한다.

주요 서비스

- Repair and Maintenance: 진공 펌프 및 성막 장치의 수리·유지보수 서비스. 해외 네트워크를 통해 현지 파트너사를 통해 수리 및 유지보수를 접수하며, ULVAC Service Center에서 지원한다. 수리·유지보수 의뢰 방법과 지원 종료 제품 안내도 제공한다.