TRYMAX 제조사 소개

TRYMAX 회사 및 제품 소개

회사 개요

Trymax Semiconductor Equipment B.V.는 네덜란드 나이메헌에 본사를 둔 반도체 장비 제조사로, 반도체 제조용 플라즈마 및 UV 기반 솔루션을 설계·제조·판매합니다. 자체 NEO 장비 플랫폼을 통해 애싱, 디스컴, 표면 준비, 등방성 에칭, 포토레지스트 경화, 전하 제거 공정을 지원하며, 단일 챔버 반자동 장비부터 다중 챔버 대량 생산 플랫폼까지 다양한 구성이 가능합니다. RF, 마이크로파, 듀얼 소스 기술을 적용할 수 있고 1·2·4개의 공정 챔버로 구성할 수 있으며, 200mm 및 300mm 웨이퍼를 처리합니다. 2003년부터 운영되어 ISO-9001 인증을 보유하고 유럽, 아시아, 미국 전역의 고객을 지원합니다.

주요 제품

- NEO 200A Series: 최소 설치 면적의 단일 챔버 플랫폼으로, 최대 200mm 기판을 처리하는 완전 자동화 시스템입니다. 듀얼 카세트와 4축 듀얼 암 로봇 핸들링을 갖추고 마이크로파 다운스트림(2.45 GHz), RF 바이어스(13.56 MHz), 듀얼 소스, CCP Top RF(13.56 MHz) 등 다양한 공정 챔버 기술로 구성할 수 있습니다.

- NEO 2000 / NEO 2400 Series: 최대 200mm까지 다양한 웨이퍼 크기를 원활하게 처리하는 플라즈마 장비 시리즈입니다. RF, 마이크로파, 듀얼 소스 기술과 1·2·4개 공정 챔버 구성이 가능합니다.

- NEO 3000 / NEO 3400 Series: 트루 브리지 기능으로 300mm와 200mm 웨이퍼 크기를 모두 처리하는 플라즈마 장비 시리즈입니다. RF, 마이크로파, 듀얼 소스 기술과 1·2·4개 공정 챔버 구성이 가능합니다.

- NEO 2000UV: 포토레지스트 경화와 전하 제거 전용 UV 솔루션으로, 최대 200mm 웨이퍼를 처리하는 듀얼 챔버 구성입니다.

주요 서비스

- Plasma Process Solutions: 애싱, 디스컴, 표면 준비, 등방성 에칭, 포토레지스트 경화, 전하 제거를 위한 플라즈마 기반 공정 솔루션을 제공합니다.

- Global Customer Support: 유럽, 아시아, 미국 전역에서 운영되는 고객을 지원하는 글로벌 서비스 및 지원을 제공합니다.