THERMCO 제조사 소개

THERMCO 회사 및 제품 소개

회사 개요

Thermco Systems는 1962년 캘리포니아 오렌지 카운티에서 설립된 반도체 생산 장비(SPE) 제조 기업으로, 현재 영국 본사를 중심으로 미국과 중국에 제조 시설을 운영하며 전 세계 400개 이상의 기업에 수천 대의 장비를 공급하고 있습니다. 60년 이상의 산업 경험과 가장 큰 수평 확산 퍼니스 설치 기반을 바탕으로, 열처리, 습식 화학, 에피택시 공정용 맞춤형 솔루션을 설계 및 제조합니다. 50mm에서 300mm 기판을 처리할 수 있는 2000, 5000, 8000 시리즈 및 미니 R&D 퍼니스, VTR 시리즈 에피택시 반응기, 자동/수동 웨트 벤치, PCMUX 제어 시스템 등 다양한 제품군을 제공하며, Reactive-AI 기반 데이터 제어, 예측 유지보수(SPC), 카세트 투 카세트 자동화 등을 통해 높은 가동률과 낮은 소유 비용(CoO)을 실현합니다. 자동차, 통신, 소비전자, 전력, 데이터 처리 등 다양한 산업 분야에 기술 지원 및 부품/수리 서비스를 제공하며 지속 가능한 반도체 생산 환경을 목표로 하고 있습니다.

주요 제품

- Diffusion & LPCVD Furnaces: 2000 시리즈, 5000/5200 시리즈, 8000 시리즈, X10/X60/X80 미니 R&D 퍼니스, PCMUX 제어 시스템 등을 포함하는 수평 및 수직 퍼니스 라인업으로, 50mm에서 300mm 기판 처리에 최적화된 자동화 및 AI 기반 제어 기능을 제공합니다.

- Epitaxial Reactors: VTR6000EX, VTR7000EX, CSD, Pyrometer, Rotation, Assembly, Exchange Program 등 최신 에피택시 공정 요구사항을 충족하는 고온 반응기 및 관련 구성 장비를 제공합니다.

- Wet Processing Systems: 자동 및 수동 웨트 벤치, 벨 지어 & 쿼츠 클리너, 화학 물질 관리 및 분배 시스템으로 구성되며, 반도체 및 관련 산업용 세정, 식각, 화학 분배 공정을 지원합니다.

주요 서비스

- Spares and Support Services: 신규 시스템 공급 외에도 제품 업그레이드, 리핏(refit), 수리, 부품 공급 및 전 세계적 기술 지원 서비스를 제공합니다.