SVCS 제조사 소개

SVCS 회사 및 제품 소개

회사 개요

SVCS Process Innovation은 유럽(체코)을 기반으로 반도체 및 광전지 산업용 프론트엔드 장비를 설계 및 제조하는 제조업체입니다. 동사는 수직형 및 수평형 고온 노, 컴팩트 테이블탑 노, ALD 단일 웨이퍼 반응기 등 반도체 공정용 열처리 및 증착 장비를 주력으로 생산하며, 초고순도(UHP) 가스 및 액체 공급 시스템과 제어 시스템도 제공합니다. 또한 장비 리트로핏 및 업그레이드, UHP 인프라 구축, 공인 교정 실험실 운영, 제어 시스템 엔지니어링 등 종합적인 서비스 및 기술 지원을 통해 반도체 및 연구소 고객의 공정 요구를 충족시킵니다.

주요 제품

- High-Temperature Furnaces: 반도체 및 광전지 산업용 수직형, 수평형, 컴팩트 테이블탑형 노 및 태양전지 생산 장비군으로, 고온 공정 및 도판트 활성화에 최적화된 열처리 시스템입니다.

- UHP Delivery & Control Systems: 초고순도(UHP) 가스 및 액체 공급 시스템, 외부 버너 시스템(EBS), 버블러, SV-Con 제어 시스템으로 구성되며 정밀 유체 공급 및 공정 제어를 담당합니다.

- ALD Single Wafer Reactors: 최대 300mm 웨이퍼 처리가 가능한 원자층 증착(ALD) 시스템으로, MW 서프트론 및 ECWR 플라즈마 소스를 결합한 단일 웨이퍼 반응기입니다.

주요 서비스

- Equipment Modernization & Support: 제3자 반도체 장비의 리트로핏, 리퍼비시, 업그레이드 및 엔지니어링/공정 지원 서비스를 제공하며 장기적인 다분야 노하우를 활용합니다.

- UHP Infrastructure & Calibration: 초고순도(UHP) 인프라 설치 및 배관, MFC 서비스 센터를 통한 공인 교정 장비 및 UHP 부품/부자재 유통을 담당합니다.

- Control System Engineering & Automation: 장비의 핵심인 제어 시스템 설계 및 공정 자동화를 위한 하드웨어 및 IT 전문 팀의 엔지니어링 서비스입니다.