SPACETEK 제조사 소개

SPACETEK 회사 및 제품 소개

회사 개요

Spacetek Technology AG는 산업 및 과학 분야를 위한 차세대 Time-of-Flight 질량 분석기를 개발하는 스위스 기업으로, 실시간 전 가스 감지 기술을 통해 반도체 제조 등 고급 공정에서 이전에는 보이지 않던 화학 반응과 일시적 오염을 감지한다. 핵심 제품인 IonTamer™ 시리즈는 TOF-RGA(Time-of-Flight Residual Gas Analyzer)로, 0.1초 만에 전체 스펙트럼을 획득하고 ppm 수준의 감도로 모든 가스를 동시에 측정하며, 공정 챔버 외부에 설치되어 다양한 인렛 옵션으로 샘플링 가스 압력에 적응한다. 회사는 Time-of-Flight 질량 분석기를 소형화, 견고화, 합리적인 가격으로 만들어 반도체 제조의 가스 기반 공정을 위한 표준 도구로 자리매김하는 것을 비전으로 삼고 있으며, 2018년 설립 이후 2021년 IonTamer™ FA 출시, 2022년 IonTamer™ PS 납품 등의 이력을 가지고 있다.

주요 제품

- IonTamer™ Series (TOF-RGA): 실시간으로 가스 조성을 모니터링하는 Time-of-Flight 잔류 가스 분석기(TOF-RGA) 시리즈로, 높은 분해능과 감도, 견고한 설계를 갖추고 있다. IonTamer™ PS 모델은 진공 챔버 내 분석기와 차동 펌핑 시스템을 포함하며, 공정 챔버 외부에 설치되어 다양한 인렛 옵션으로 샘플링 가스 압력에 적응한다.

주요 서비스

- Time-of-Flight Mass Spectrometry for Semiconductor Manufacturing: 반도체 제조를 위한 Time-of-Flight 질량 분석 기술 및 응용 서비스로, 가스 분자의 이온화, 추출, 검출, 분석 과정을 통해 실시간으로 공정을 모니터링하고 이상 징후에 대응하며 유지보수 주기와 같은 주요 이벤트를 예측할 수 있도록 지원한다.