SCIA 제조사 소개

SCIA 회사 및 제품 소개

회사 개요

scia Systems는 2013년 VON ARDENNE GmbH와의 파트너십으로 설립되어 Chemnitz에 본사를 둔 기업으로, 고급 이온빔 및 플라즈마 기술을 기반으로 정밀 표면 처리용 장비를 개발합니다. 이 장비는 MEMS, 마이크로일렉트로닉스, 정밀 광학 분야에서 나노미터 수준의 코팅, 에칭, 세정 공정에 사용되며, 유연하고 모듈식 설계로 연구용부터 대량 생산까지 구성할 수 있습니다. 소형 기판부터 최대 3m 직경의 기판까지 처리 가능하며, 전 세계에 현지 판매 및 서비스 파트너 네트워크를 구축하고 EN ISO 9001:2015 인증을 보유하고 있습니다.

주요 제품

- Ion Beam Etching Systems: 전면 에칭을 위한 이온빔 에칭 시스템 제품군으로, scia Mill 150(150mm 기판), scia Mill 200(200mm 웨이퍼), scia Mill 300(300mm 웨이퍼) 모델을 포함합니다.

- Ion Beam Trimming Systems: 정밀 표면 보정을 위한 이온빔 트리밍 시스템 제품군으로, scia Trim 200(200mm 웨이퍼), scia Trim 300(300mm 웨이퍼), scia Finish 1500(1500mm 기판) 모델을 포함합니다.

- Ion Beam Sputtering Systems: 고품질 다층 코팅을 위한 이온빔 스퍼터링 시스템 제품군으로, scia Coat 200(200mm), scia Coat 500(500mm x 300mm), scia Opto 300(300mm 광학기기) 모델을 포함합니다.

- Magnetron Sputtering Systems: 다층 증착을 위한 마그네트론 스퍼터링 시스템 제품군으로, scia Multi 300(300mm 웨이퍼), scia Multi 680(680mm), scia Multi 1500(1500mm), scia Magna 200(200mm 웨이퍼), scia Magna 400/500/700/1200 Inline(광학 기판) 모델을 포함합니다.

- Electron Beam Evaporators: 200mm 웨이퍼에 정밀 나노 구조를 생성하기 위한 전자빔 증발기로, scia Eva 200 모델이 있습니다.

- Dry Cleaning Systems: 고품질 세정 및 검증을 위한 건식 세정 시스템 제품군으로, scia Clean 800(최대 Ø 800mm, 높이 500mm)과 scia Clean 1000/1500/3000(최대 Ø 3m, 길이 3.4m) 모델을 포함합니다.

- PECVD/RIE Systems: PECVD 및 RIE 공정을 위한 시스템 제품군으로, scia Batch 350(배치 3D 코팅), scia Cube 300(300mm x 200mm 에칭 및 코팅), scia Cube 750(750mm x 750mm 에칭 및 코팅) 모델을 포함합니다.

- Customized Solutions: 고객 요구에 맞춘 맞춤형 시스템으로, 다양한 구성이 가능하며 scia Inline 400(면도날 커팅 에지 성형 및 코팅)을 포함합니다.

- Cluster Systems: 다양한 공정을 하나의 시스템에서 처리할 수 있는 클러스터 장비로, scia Cluster 200 모델이 있으며 IBT, RIBE, DIBD, PVD, RIE, PECVD, ALD, EBE 등의 공정을 지원합니다.

주요 서비스

- System Design: 표준 시스템의 신규 설계 또는 설계 및 공정 측면의 맞춤형 조정 서비스를 제공합니다.

- Manufacturing: 핵심 부품을 사내에서 제조하고 고품질 표준 부품을 통합하는 서비스입니다.

- Software Development: 자체 소프트웨어 개발과 원격 접속을 통한 전 세계 지원 서비스를 제공합니다.

- Research & Development: 공정 최적화 및 지원을 위한 자체 부서를 운영하며 연구 개발 서비스를 제공합니다.

- Installation & Training: 전 세계 현장 시운전, 설치 및 고객 교육 서비스를 제공합니다.

- Service & Support: 유지보수, 예비 부품 공급 및 업그레이드 서비스를 제공합니다.