NOVAFABRICA 제조사 소개

NOVAFABRICA 회사 및 제품 소개

회사 개요

NOVA FABRICA LTD는 진공 코팅, 박막, 플라즈마 공정 장비 제조사(OEM)와 최종 사용자를 대상으로 핵심 서브시스템, 부품, 계측 서비스 및 인력 교육을 개발·제조·공급하는 회사이다. 생산 수율 최적화, 에너지 효율, 품질 보증(QA) 향상, 환경 친화성을 목표로 고급 공정, 특성 분석, 모니터링, 제어 및 자동화 솔루션을 제공한다. 자체 개발한 Inteleg® 브랜드의 지능형 공정 모니터링 및 제어 제품군과 PLC 기반 자동화·디지털화 솔루션을 보유하고 있으며, PVD, CVD, PECVD, ALD 등 주요 공정과 열증착, 전자빔 증착, 마그네트론 스퍼터링, 플라즈마 에칭 등의 기술을 지원한다. 또한 공정 개발·최적화·자동화, 기술 이전, 실험실 서비스, 교육 등 다양한 서비스를 제공한다.

주요 제품

- Process Monitoring & Control Systems: 플라즈마 공정 모니터링 및 제어를 위한 핵심 서브시스템 제품군으로, Plasma Emission Monitoring 시스템, Reactive Gas Control 시스템, Residual and Process Gas Analysis 시스템, Deposition Rate Measurement 시스템, Optical 및 Sheet Resistance Measurement 시스템, Plant-wide Supervisory Process Control System, 광학 모니터링 어셈블리, 광섬유 부품 등을 포함한다.

- Residual & Process Gas Analysis: AI 기반 SPOES RGA & PGA 잔류 및 공정 가스 분석 시스템으로, 1.0e-7 ~ 1.0 Torr 범위, 자가 세정, PPM 검출, 낮은 유지보수 특성을 갖춘다.

- Optical Emission Spectroscopy (OES): 내장 라인 DB를 갖춘 AI 기반 OES 시스템으로, 0.15 ~ 6.0 nm 분해능, 공정 인식, 엔드포인트 검출, 플라즈마 분석 기능을 제공한다.

- Plasma Electrolytic Oxidation (PEO/MAO) Systems: PEO/MAO용 고해상도 OES 스캐너로, 턴키 방식의 침수형이며 정밀 X-Y 스캐너와 순환 시스템이 포함된 8리터 공정 전해액 탱크를 갖추고 있다.

- Automation & Digitalization Solutions: 진공 처리, 플라즈마 공정, 박막 증착 시스템을 위한 PLC 기반 자동화 및 디지털화 솔루션으로, HMI, SCADA, 클라우드 연결, 기능 안전 및 사이버 보안 기능을 갖춘 차세대 PLC를 활용한다.

주요 서비스

- Technical Support & Process Services: 현장 기술 지원, 공정 개발·최적화·자동화, 공정 기술 이전 및 구현, 사내 실험실 서비스, 사내 및 현장 교육을 포함하는 서비스이다.

- Service & Support: 소프트웨어 유지보수 릴리스, 업데이트 및 업그레이드, 장비·소프트웨어 사용 지원, 운영 및 응용 자문, 문제 해결 및 진단을 포함하며, 온디맨드 및 계약 기반으로 전 세계에 제공된다.