NANO-MASTER 제조사 소개

NANO-MASTER 회사 및 제품 소개

회사 개요

NANO-MASTER, INC.는 텍사스 오스틴에 본사를 둔 박막 기술 장비 제조사로, 1992년 설립되어 2000년부터 연구용 박막 공정 장비 설계 및 개발에 주력하고 있습니다. 반도체, MEMS, 광전자, 나노기술, 광전지 분야에 PECVD, ALD, 스퍼터링, 식각, 세정 시스템 등을 공급하며 전 세계 30개국에 150개 이상의 장비를 판매한 바 있습니다. 고객 맞춤형 제작과 높은 품질, 기술 혁신을 핵심 가치로 삼고 있습니다.

주요 제품

- Thin Film Deposition Systems: PECVD, PEALD, ALD, PA-MOCVD, 스퍼터링, 열/전자빔 증발장비 등을 포함하는 박막 증착 시스템군으로, SiO2, Si3N4, DLC, CNT, InGaN, AlGaN 등 다양한 물질의 고품질 박막 형성을 지원합니다.

- Etching & Milling Systems: RIE, DRIE, 이온 빔 밀링, 반응성 식각 시스템으로 구성되며, 반도체 및 MEMS 공정용 정밀 식각 및 미세 가공 장비를 제공합니다.

- Cleaning & Processing Systems: 단일 웨이퍼, 대형 기판, 필리클/비필리클 레티클 세정, 건식 플라즈마 애싱, 메가소닉 세정 및 포토레지스트 스트리핑 장비를 아우르는 세정 시스템군입니다.

- Dual Chamber & Space Simulation Systems: 듀얼 챔버 시스템, 자동 웨이퍼 이송 장치, 우주 공간 시뮬레이션 테스트 장비, 플라즈마 소스 등을 포함하는 특수 공정 및 테스트 시스템입니다.