MEMSSTAR 제조사 소개

MEMSSTAR 회사 및 제품 소개

회사 개요

memsstar는 2003년부터 영국 리빙스턴에 본사를 두고 반도체 및 MEMS(미세전자기계시스템) 제조와 R&D를 위한 식각(Etch) 및 증착(Deposition) 솔루션의 선도적인 공급업체입니다. Applied Materials, Lam, Novellus 등 기존 반도체 플랫폼을 기반으로 자체 proprietary MEMS 시스템을 결합한 장비와 프로세스를 제공하며, ISO 9001 인증을 획득한 재제조(Remanufacturing) 및 기술 개발 역량으로 R&D부터 대량 생산까지 전 주기를 지원합니다. 단일 웨이퍼 처리 기술, 건식 방출 식각, SAM 코팅 등 고수율 및 공정 균일성 향상에 특화된 장비와 맞춤형 공정 엔지니어링, 부품 공급, 현장 서비스 등을 포괄적으로 제공합니다.

주요 제품

- ORBIS Platform Systems: ORBIIS 1000, ORBIS 3000, ORBIS ALPHA로 구성된 단일 웨이퍼 및 클러스터 툴 플랫폼으로, 저변량 MEMS 생산부터 고수율 대량 제조, 학술 및 기관용 R&D 개발까지 지원.

- XERIC™ Vapor Release Etching Systems: 산화막(Vapor HF) 및 실리콘(XeF2)의 residue-free 건식 방출 식각을 위한 시스템으로, 고급 증기 공급, 챔버 기술 및 정교한 공정 모니터링을 통해 균일성과 반복성을 보장.

- AURIX™ SAM Coating Systems: 자기조립단층(SAM) 코팅을 위한 플라즈마 활성화 및 표면 증착 시스템으로, 소자 방청, 마모 방지, 생체 적합성 및 미세유체 장치용 코팅을 지원.

- Remanufactured & Refurbished Semiconductor Equipment: 기존 반도체 장비(AMAT, Lam, Novellus 등)를 OEM 사양에 맞게 재제조 및 리퍼비시하여 MEMS 공정용으로 재활용한 시스템으로, 비용 효율성과 공정 신뢰성을 동시에 제공합니다.

주요 서비스

- Equipment Services for Wafer Fabs: 웨이퍼 파브용 장비의 리퍼비시, 리타겟팅, 업그레이드, 최종 테스트, CE 인증, 현장 지원, 부품 교육 및 유지보수 계약 등을 포괄하는 파브 운영 지원 서비스.

- Technology Development & Process Engineering: 표준 플랫폼 기반의 등방성 식각 및 코팅 기술 개발, MEMS 공정 최적화, 시뮬레이션 및 데모 지원을 통해 연구소와 상용 MEMS 제조사의 기술 전환을 돕습니다.

- Spare Parts Supply & On-Site Support: OEM/리퍼비시 부품 공급, 현장 서비스, 반도체 장비 교육 및 업그레이드 지원을 통해 장비 가동률과 수명 연장을 보장합니다.