MEIVAC 제조사 소개

MEIVAC 회사 및 제품 소개

회사 개요

Ferrotec의 MeiVac 그룹은 데이터 저장, 광자학, 태양광, 통신, 정부/연구 개발 등 다양한 첨단 산업에 고신뢰성·고성능의 박막 제조 시스템, 부품 및 공정 솔루션을 제공하는 업계 선두 기업입니다. 30년 이상의 경험을 바탕으로 MCT-8000, 2480, 602 시리즈 스퍼터링 시스템과 다양한 진공 공정 부품을 제공하며, 기존 장비의 성능을 최적화하는 리트로핏 및 맞춤형 시스템 설계 서비스도 지원합니다.

주요 제품

- Thin Film Sputtering Systems: MCT-8000 클러스터 툴, 2480 배치 시스템, 602 단일 웨이퍼 시스템으로 구성된 고신뢰성·고성능 스퍼터링 시스템 플랫폼으로, 하드 디스크 드라이브 및 자기 저장용 두꺼운 알루미나 증착에 최적화되어 높은 가동률과 확장성을 제공합니다.

- Vacuum Process Components: Vari-Q 스로틀 밸브, Re-Vap 저항 증발원, MAK 스퍼터 증착원, HTR 기판 히터, 파워 서플라이 및 컨트롤러 등 정밀 진공 공정용 핵심 부품군으로, 박막 코팅 및 증착 공정의 안정성을 지원합니다.

주요 서비스

- System Retrofits & Upgrades: 기존 장비에 가스 관리 옵션(GMO), 자동 위상 조정기, 균일도 향상 개조, 로봇 및 온도 센서 업그레이드, 웨이퍼 크기 변경 등을 적용하여 공정 성능과 웨이퍼 균일도를 최적화하는 현대화 서비스입니다.

- Process Solutions & Custom Systems: 24/7 생산용 또는 개발 단계에 맞춘 맞춤형 시스템 설계 및 R&D 지원, 공정 최적화를 위한 엔지니어링 서비스로 고객 고유의 요구사항을 반영한 장비 및 공정 성능을 극대화합니다.