MATTSON 제조사 소개

MATTSON 회사 및 제품 소개

회사 개요

Mattson Technology는 1988년 캘리포니아 프리몬트에 설립된 반도체 웨이퍼 처리 장비 설계 및 제조 기업입니다. 실리콘 밸리 출신으로 글로벌 헤드쿼터를 운영하며, 미국과 독일에서 설계 및 제조를 담당하고 전 세계에 영업 및 지원 조직을 갖추고 있습니다. Dry Strip, Plasma Etch, Rapid Thermal Processing, Millisecond Anneal 등 혁신적인 기술을 통해 차세대 집적 회로(IC) 제조를 위한 고효율 및 고성능 공정 솔루션을 제공합니다.

주요 제품

- Plasma Etch & Surface Treatment Systems: 사진레지스트 제거(Dry Strip) 및 초선택적 재료 제거를 위한 고밀도 라디칼 소스 기반 장비군으로, 표면 처리 및 식각 공정을 최적화합니다.

- Rapid Thermal Processing & Millisecond Anneal Systems: Aspen, Millios, Helios 제품군을 포함하는 고속 열처리 및 밀리초 어닐 장비로, 이중면 가열(Helios) 및 인공 광원 기술을 적용하여 높은 패턴 부하 성능과 실리사이드화 공정을 지원합니다.

- Atomic Surface Engineering Solutions: 3D 로직 및 메모리 제조의 핵심 과제를 해결하기 위한 원자 수준의 표면 제어 기술 및 관련 공정 솔루션입니다.

주요 서비스

- Lifecycle Support & Spare Parts Management: 제품 수명 주기 전반에 걸친 제품 지원, 업그레이드, 스페어 부품, 성숙 제품 판매 및 리퍼비시먼트 도구를 포함한 종합 부품 및 유지보수 프로그램입니다.

- Field Service, Upgrades & Process Engineering: 인증된 현장 서비스 엔지니어의 신속 배치, 예방 정비, 기술 및 생산성 향상 업그레이드, 공정 엔지니어링 서비스, 맞춤형 소프트웨어 개발 및 도구 이전/전환 프로젝트 기반 서비스를 제공합니다.