IRIEKOKEN 제조사 소개

IRIEKOKEN 회사 및 제품 소개

회사 개요

이리에 코켄(IRIE KOKEN)은 금속 베로스(Metal Bellows) 및 진공 기술(Vacuum Technology)을 기반으로 정밀 금속 베로스, 진공 밸브(Vacuum Valve), 진공 챔버, 초고진공 펌프 등을 연구개발 및 제조하는 R&D 중심 기업입니다. 반도체 제조 장비를 주요 타겟으로 하지만, 액정, 가속기, 핵융합, 철도, 의료 등 다양한 산업 분야에 고신뢰성 진공 부품과 장비를 공급하고 있으며, 고객 사양에 맞춘 맞춤형 제작(Customization)과 해외 공장 지원, 정기 유지보수 및 세정 서비스를 포함한 철저한 애프터서비스를 제공합니다.

주요 제품

- Metal Bellows: 정밀성이 요구되는 진공 및 반도체 분야에 널리 사용되는 금속 베로스 제품군으로, 용접 베로스(Welded Bellows), 성형 베로스(Formed Bellows), 플렉시블 튜브(Flexible Tube)로 구성되며 SUS316L, SUS304, Hastelloy 등 다양한 재질로 제작됩니다.

- Vacuum Valves: 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 진공 격리 및 압력 조절을 위한 진공 밸브 제품군으로, 사각형 게이트 밸브(Square Gate Valve), 대형 게이트 밸브(Large Gate Valve), 원형 마리나 밸브(MARINA), L형 고진공 앵글 밸브(L-type Valve) 등이 포함됩니다.

- Vacuum Components & Feedthroughs: 진공 챔버 및 피드스루(Feedthroughs)를 포함한 진공 부품 제품군으로, 용접 베로스 결합 직선 피드스루(Bellows-sealed Linear Feedthroughs), 회전 피드스루(Bellows-sealed Rotary Feedthroughs), 셔터(Shutters), XY 테이블(XY Tables) 등이 제공되며 고진공 환경에서의 정밀 운동 전달 및 위치결정을 지원합니다.

- Ultra-High Vacuum Pumps: 건조 펌프나 터보 분자 펌프와 함께 사용되는 초고진공 펌프로, NEGLAZE 제품군은 산소 없는 Pd/Ti 증착 방식으로 10⁻⁸ Pa 이하의 초고진공을 달성하며 베이킹 온도 범위에서 활성화되어 지속적인 가열 없이 운용 가능합니다.

주요 서비스

- After-Sales & Maintenance Support: 반도체 제조 장비 부품의 고정밀 유지 관리를 위한 애프터서비스 및 유지보수 서비스로, 부품 교체 및 세정, 정기 점검, 공정 개선 제안, 해외 공장 지원 등을 포함하며 고객 사양에 맞춘 맞춤형 제작(Customization)도 제공합니다.