ANGSTROM 제조사 소개

ANGSTROM 회사 및 제품 소개

회사 개요

Angstrom Engineering은 박막 증착 시스템, 코팅 및 소모품을 제공하는 글로벌 리더입니다. 다양한 증착 기술(마그네트론 스퍼터링, 전자빔, 이온빔, 원자층 증착, 펄스 레이저 증착, 열 증발, 화학 기상 증착)을 보유하고 있으며, Covap, Nexdep, Amod, EvoVac, Box Coater, Nebula, ALD ONE, PLD 등 여러 플랫폼을 제공합니다. 또한 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 질화티타늄(TiN), 몰리브덴(Mo) 코팅 서비스와 맞춤형 패턴 코팅 서비스를 제공합니다.

주요 제품

- Thin Film Deposition Platforms: 박막 증착 플랫폼 제품군. Covap(소형 실험실용), Nexdep(강력한 공정 개선), Amod(챔버 거리 조정 가능), EvoVac, Box Coater, Nebula, ALD ONE, PLD 등 다양한 플랫폼을 포함합니다.

- Magnetron Sputtering Technology: 마그네트론 스퍼터링 기술. RF, DC, Pulsed DC, 반응성 가스 스퍼터링, HiPIMS, 선형 스퍼터링, 대향 타겟/저손상 스퍼터링을 포함합니다.

- Electron Beam Deposition Technology: 전자빔 증착 기술. 이온 보조 E-Beam, 소스 구성 및 소스 관리를 포함합니다.

- Ion Beam Processing Technology: 이온빔 처리 기술. 이온 보조 증착, 에칭 및 세정, 이온빔 스퍼터 증착을 포함합니다.

- Atomic Layer Deposition (ALD) Technology: 원자층 증착(ALD) 기술.

- Pulsed Laser Deposition (PLD) Technology: 펄스 레이저 증착(PLD) 기술.

- Thermal Evaporation Technology: 열 증발 기술. 보트 및 필라멘트, 유기 증발, 도가니 히터, 알루미늄(Al) 증발, 유도 가열을 포함합니다.

- Chemical Vapor Deposition (CVD) Technology: 화학 기상 증착(CVD) 기술. 열 LPCVD, 급속 어닐링, 확산로를 포함합니다.

- Automation and Control Systems: 자동화 및 제어 시스템. 광학 모니터링 및 제어, Aeres 제어 소프트웨어, 클러스터 통합, 로드락, 기판 전송, 마스크 핸들링을 포함합니다.

- Fixturing and Substrate Handling: 고정 장치 및 기판 처리. 마스킹 셔터, 가변 각도 스테이지, 플래니터리/돔, 가열 및 냉각, 기판 바이어싱, 롤 코팅을 포함합니다.

주요 서비스

- Coating Services: 코팅 서비스. 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 질화티타늄(TiN), 몰리브덴(Mo) 코팅을 실리콘 웨이퍼, 칩, 유리 커버슬립, 현미경 슬라이드 등에 제공합니다.

- Custom Coating Services: 맞춤형 코팅 서비스. 다양한 금속 및 유전체를 맞춤형 기판에 증착합니다.

- Patterned Coating Services: 패턴 코팅 서비스. 다양한 표면에 재료의 맞춤형 패턴 코팅을 제공합니다.

- Service and Consumables: 서비스 및 소모품. 부품 지원 및 재료 회수 서비스를 제공합니다.