Zygo (wavefront sciences) 제조사 소개

Zygo (wavefront sciences) 회사 및 제품 소개

- 회사 개요: Zygo는 50년 이상 글로벌 조직과 협력해 온 정밀 광학 계측 및 광학 부품 분야의 선도 기업입니다. AMETEK, Inc.의 사업부로, 3D 광학 계측 솔루션을 제공합니다.

- 주요 제품:

- 계측 시스템: 비접촉식 3D 광학 프로파일러 및 레이저 간섭계를 제공합니다. 나노미터 수준의 정밀도로 표면 형상, 평탄도, 거칠기 등을 측정하며, 반도체, 항공우주, 자동차, 의료, 산업 분야에서 사용됩니다.

- 나노 위치 센서: 리소그래피 및 검사 장비 스테이지, 변형 가능한 광학 시스템의 폐쇄 루프 모션 제어에 사용됩니다.

- 광학 부품: 초정밀 평면, 비구면, 구면 광학 부품, 거울, 빔스플리터 등을 제조합니다. 재료로는 ZERODUR®, ULE®, 유리, 세라믹, Si, CaF2 등을 사용하며, λ/5000 RMS @ 633 nm의 정밀도를 달성합니다.

- 광학 어셈블리: 복잡한 전자-광학 어셈블리의 설계, 조립 및 통합 서비스를 제공합니다.

- 서비스:

- 초정밀 광학 부품 가공: 컴퓨터 제어 광학 표면 가공(CCOS), 이온 빔 가공(IBF), 초정밀 연마(초연마) 기술을 보유하고 있습니다. IBF는 0.25 nm RMS 미만의 표면 형상을 구현할 수 있습니다.

- 정밀 유리 가공: 5축 초음파 CNC 가공을 통해 유리 및 세라믹 소재를 가공하며, 2 µm 공차를 달성합니다.

- 맞춤형 솔루션: 고객의 요구에 따라 Scope of Work 개발, 프로토타입 제작, 성능 개선을 위한 재설계를 지원합니다.

- 주요 고객 및 응용 분야: 항공우주, 반도체, 자동차, 의료, 산업 분야의 제조업체를 대상으로 하며, NASA 허블 우주 망원경용 비구면 광학 부품, EUV 리소그래피용 초정밀 광학계 등 첨단 프로젝트에 참여한 이력이 있습니다.