Tempress Systems 제조사 소개

Tempress Systems 회사 및 제품 소개

- 회사 개요: Tempress는 반도체 및 첨단 소재 산업을 위한 확산 및 증착 장비를 설계, 개발, 생산하는 네덜란드 기업입니다. 1967년에 설립되어 50년 이상의 역사를 보유하고 있으며, 본사와 조립 및 테스트 시설은 네덜란드 Vaassen에 위치하고 있습니다.

- 주요 제품:

- TS Series V: 수평형 퍼니스 플랫폼으로, 유연성과 다중 공정 지원, 클린룸 공간 최적화에 중점을 둡니다.

- VS Series: 수직형 퍼니스 플랫폼으로, 소량 배치(최대 75매 웨이퍼) 처리를 위한 경제적이고 확장 가능한 솔루션입니다.

- 웨이퍼 핸들링 시스템: 중대량 반도체 제조를 위한 통합 보트 핸들러, 자동 웨이퍼 핸들링 시스템(카세트-투-카세트)을 제공합니다.

- 주요 기술 및 공정:

- 확산(Diffusion): 고온 어닐링(최대 1365°C), 습식/건식 산화, 인(P) 및 붕소(B) 도핑(POCI3, BBr3), 저온 소결, 합금, 어닐링(최대 100% H2) 공정을 지원합니다.

- 증착(Deposition): 저압 화학 기상 증착(LPCVD), 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 원자층 증착(ALD) 기술을 제공합니다.

- 고객 지원 서비스: 장비 수명 주기 전반에 걸쳐 안전하고 비용 효율적이며 높은 가동률을 보장하기 위한 서비스, 예비 부품, 개조(retrofit) 서비스를 제공합니다.

- 주요 시장: 반도체, 전력 반도체, MEMS, 포토닉스, 태양광, 생명 과학, 코팅 시장을 대상으로 합니다. 태양광 패널 생산용 확산 퍼니스 시스템으로 30GW 이상의 생산 용량을 설치한 이력이 있습니다.