TFC GmbH 제조사 소개

TFC GmbH 회사 및 제품 소개

- 회사 개요: 1993년에 설립된 TFC GmbH는 박막 증착(thin film deposition)을 위한 첨단 PVD(Physical Vapor Deposition) 제품을 공급합니다. 자체 설계한 평면 스퍼터 마그네트론(planar sputter magnetron)을 시작으로 현재까지 5,000개 이상의 장치를 생산했습니다.

- 주요 제품: IONIX® 브랜드의 마그네트론 스퍼터링 소스(Magnetron Sputtering Sources)를 전문으로 생산합니다. 주요 제품군은 다음과 같습니다.

- RIX®12: 300mm 타겟 직경, 8인치 웨이퍼에 ±1% 균일도, 100% Full Face Erosion(FFE) 기능.

- 직사각형 마그네트론(Rectangular Magnetrons): 산업 생산용, 다양한 폭과 길이, 고급 수냉 회로, 최대 20W/cm² 전력.

- 고진공(HV) 원형 마그네트론: 2"~12" 타겟 크기, 다양한 자기 및 기계적 옵션.

- 초고진공(UHV) 마그네트론: 1"~12" 타겟 크기, 금속 실링, 200°C 베이킹 가능.

- 응용 분야: X-선 광학, GMR 레이어, EUV 렌즈용 다층 코팅, 마이크로전자 소자, 양자 컴퓨팅 큐비트, 자동차 내장재 플라스틱 부품 금속화.

- 기술 역량: 3D-CAD 마그네트론 설계, 고전압 및 RF 부품 설계, 맞춤형 마그네트론 개발, 자기장 3D 시뮬레이션 및 측정, 반응성 스퍼터링 공정 측정 기술, 품질 관리 및 조립·테스트.