PSK 제조사 소개

PSK 회사 및 제품 소개

- 회사 개요: PSK는 반도체 제조 장비 분야의 글로벌 리더로, 30년 이상 축적된 기술을 바탕으로 플라즈마 드라이 스트립(포토레지스트 제거) 응용 분야에서 세계 시장 점유율 1위를 유지하고 있습니다. 2030년까지 매출 10억 달러 달성을 목표로 글로벌 시장으로 확장 중입니다.

- 주요 제품 및 서비스:

- 드라이 스트립 시스템: SUPRA 시리즈는 세계 최대 시장 점유율을 보유하며, 안정적인 드라이 스트립 공정을 제공하고 작은 설치 면적으로 높은 처리량(Throughput)과 낮은 소유 비용(Cost of Ownership)을 실현합니다.

- 드라이 클리닝 시스템: INTEGER 시리즈는 고종횡비 접촉 홀 세정 및 패터닝이 가능하며, 척(chuck), 배플(baffle) 온도 및 다양한 화학 물질 조합을 통해 선택비(selectivity)를 조절합니다.

- 뉴 하드 마스크 스트립 시스템: OMNIS 시리즈는 내식각성이 높은 막과 산화막, 질화막 등 하부 막을 선택적으로 제거하는 솔루션을 제공합니다.

- 베벨 에치 시스템: PRECIA 시리즈는 웨이퍼 가장자리 세정 장비로, 낮은 소유 비용과 높은 성능을 통해 에지 수율을 개선합니다.

- 드라이 클리닝 (Dry Cleaning): 플라즈마 산화막 세정(POC) 공정은 증착 전 실리콘 표면의 자연 산화막 등 불필요한 산화막을 제거하며, 10nm급 DRAM 반도체 시대에 중요한 역할을 합니다.

- 3D IC 패키징 장비: PSK Holdings를 통해 플라즈마 표면 처리 시스템, 리플로우 시스템, Hot DI 시스템, 플라즈마 소스 등을 제공합니다.

- 기술 혁신: PSK 그룹은 차세대 반도체 제조를 위한 장치, 공정 재료, 부품, 장비 및 설계 기술을 개발 중이며, 빅데이터 및 시뮬레이션 기술을 공정 및 장비 품질 향상에 적용합니다. 자체 플라즈마 소스 기술과 고속 이송 기술을 보유하고 있으며, 40개 이상의 반도체 제조사와 협력하여 미래 기술을 개발하고 있습니다.