micro resist technology GmbH (MRT) 제조사 소개

micro resist technology GmbH (MRT) 회사 및 제품 소개

- 회사 개요: 1993년에 설립된 독일 베를린 소재의 포토레지스트, 폴리머, 포토폴리머 및 공정용 화학제품의 개발, 생산 및 판매 전문 기업입니다. 2025년 3월부터 일본의 TOK 그룹(TOKYO OKHA KOGYO CO., LTD.)에 인수되어 그룹의 일원이 되었습니다.

- 주요 제품:

- 네거티브 포토레지스트: UV, DUV, 레이저, 전자빔, X-선 리소그래피 공정용.

- 포지티브 포토레지스트: UV 리소그래피(마스크 얼라이너, 레이저, 그레이톤 노광) 및 전자빔 리소그래피용.

- 하이브리드 폴리머: UV 경화형으로, 마이크로 및 나노 광학 부품 제조에 사용.

- 나노임프린트 레지스트: 열 및 UV 나노임프린트 리소그래피(NIL)용 맞춤형 레지스트.

- 잉크젯 재료: 다양한 제품군의 잉크젯 프린팅 공정용 재료.

- 드라이 필름 레지스트: 광학 소자, 미세유체역학 등 영구 재료로 사용.

- 고순도 화학제품 및 구조 형성 재료.

- 서비스:

- 리소그래피 서비스: 미세유체역학 응용을 위한 마스터 웨이퍼 제작 (UV 접촉 리소그래피 기반, 최대 150mm 웨이퍼, 다층 구조 가능).

- 고객 맞춤형 재료 개발: 고객의 요구에 맞춰 레지스트의 두께 및 물성 조정.

- 기술 지원 및 컨설팅: 공정 최적화 및 재료 선정 지원.

- 응용 분야: 마이크로시스템 기술, 마이크로일렉트로닉스, 광전자공학, 마이크로/나노포토닉스, 나노기술, 생명과학, 센서, 증강/가상 현실, 미세유체역학.

- 기타: DIN EN ISO 9001(품질경영시스템) 및 DIN EN ISO 14001(환경경영시스템) 인증 보유. 유럽 내 특수 화학제품의 고서비스 유통업체(Resist Alliance) 역할도 수행.