Microsense Systems 제조사 소개

Microsense Systems 회사 및 제품 소개

- 회사 개요: Microsense Systems는 반도체 및 관련 산업을 위한 계측 장비를 제공하는 기업입니다. (출처: home_b, service_b)

- 주요 제품:

- 오버레이 계측 시스템: Archer™ 시리즈(Archer 800, 750, 600, 500LCM, 500, Power) 및 ATL™ 시리즈(ATL100)는 반도체 웨이퍼 제조 공정에서 층간 정렬 오차(overlay)를 측정합니다. (출처: home_b, service_b)

- 임계 치수(CD) 및 형상 계측 시스템: SpectraShape™ 시리즈(12k, 11k, 10K, 9010)와 Axion® T2000은 반도체 소자의 미세 패턴 치수와 3차원 형상을 측정합니다. (출처: home_b, service_b)

- 박막 계측 시스템: SpectraFilm™ 시리즈(F10, F20, F1, LD10)와 Aleris® 시리즈(8330, 8350, 8510)는 반도체 공정에서 사용되는 박막의 두께, 굴절률, 응력 등을 측정합니다. (출처: home_b, service_b)

- 패턴 웨이퍼 형상(PWG) 계측 시스템: PWG5™, PWG3™은 웨이퍼의 휨, 평탄도, 나노토포그래피를 측정합니다. (출처: home_b, service_b)

- 이온 주입 계측 시스템: Therma-Probe® 680XP, 780은 이온 주입 공정의 도즈(dose)를 모니터링합니다. (출처: home_b, service_b)

- 미세 시트 저항 측정 시스템: CAPRES microRSP® A301, M300, M201은 웨이퍼 상의 미세 영역 시트 저항을 측정합니다. (출처: home_b, service_b)

- 전기/자기 특성 계측 시스템: CAPRES CIPTech® A301, M300, M201은 MRAM 등에 사용되는 자기 터널 접합(MTJ)의 자기 저항 및 터널링 저항을 측정합니다. (출처: home_b, service_b)

- 비접촉 자기 특성 계측 시스템: MicroSense® PKMRAM, KerrMapper S300/V300은 MRAM 및 데이터 저장 장치용 자기 박막의 특성을 측정합니다. (출처: home_b, service_b)

- 시트 저항 측정 시스템: OmniMap® RS-200은 웨이퍼의 시트 저항을 매핑합니다. (출처: home_b, service_b)

- 전면 웨이퍼 결함 검사 시스템: CIRCL™ 클러스터 시스템(8 Series, CV350, BDR300™, Micro-SR™)은 웨이퍼의 모든 표면 결함을 검사, 계측 및 리뷰합니다. (출처: home_b, service_b)

- 서비스: KLA Services를 통해 현장 서비스 엔지니어링, 글로벌 공급망, 유연한 서비스 계약, 훈련, 업그레이드 등을 제공합니다. (출처: service_s_a)

- 대상 고객: 반도체 칩 제조사(메모리, 로직, 파워 디바이스, LED, 포토닉스, RF, MEMS 등) 및 기판 제조사. (출처: home_b, service_b)