LPE 제조사 소개

LPE 회사 및 제품 소개

- 회사 개요: LPE는 1960년대 후반 이탈리아 밀라노에서 설립되어 에피택셜 기술(Epitaxial Technology) 분야에서 세계적인 선도 기업으로 성장했습니다. 2022년 10월, 반도체 공정 장비 및 재료 분야의 글로벌 선도 기업인 ASM에 인수되어 ASM의 자회사로 편입되었습니다.

- 주요 제품: LPE는 에피택셜 리액터(Epitaxial Reactor)를 설계 및 생산합니다. 주요 제품군으로는 배럴(Barrel) 타입의 PE 2061 S 배치 리액터와 자동 웨이퍼 로딩 기능을 갖춘 PE 3061 리액터가 있습니다. 또한, 공정 균일도를 향상시키는 특허 도구인 'Bubbler'(액체 클로로실란 포화기)를 개발하여 공급합니다.

- 주요 서비스: LPE는 고객과의 장기적인 파트너십을 기반으로 맞춤형 서비스를 제공합니다. 여기에는 제품에 대한 장기 협력, 투자 보호, 직접적인 기술 지원 및 유지보수, 생산 중단된 장비에 대한 부품 공급 등이 포함됩니다. 이를 위해 아시아와 유럽 전역에 현지 서비스 센터 네트워크를 운영하고 있습니다.

- 적용 분야: LPE의 리액터는 Schottky, Power Transistor, PowerMOS, Rectifier, IGBT 소자용 두꺼운 에피층, NPN, 패턴 웨이퍼, CMOS, 혼합 기술 등 까다로운 응용 분야에 특화되어 있습니다.