ALOXTEC 제조사 소개

ALOXTEC 회사 및 제품 소개

- 주요 사업: III-V 화합물 반도체의 습식 열 산화 공정을 위한 고유한 기술 솔루션 제공.

- 핵심 제품: 'Alox Furnace 1.4' 및 'ALOX 1.4'로 명명된 반도체 장비. 이 장비는 VCSEL/EEL(수직 공진 표면 발광 레이저/에지 방출 레이저) 제조 과정 중 산화 단계를 수행하도록 설계된 전용 퍼니스입니다.

- 기술 특징: 최대 8인치 웨이퍼 처리, 선택적 산화 공정, 실시간 원격 광학 모니터링, 자동 산화 직경 제어, 산화 개구 균일성(σ < 0.45 µm) 및 공정 재현성(Run-to-run deviation σ < 0.05 μm)을 보장합니다.

- 응용 분야: 광자학(VCSEL/EEL), 레이저 다이오드, 도파관 등 반도체 소자 제조. 최종 응용 분야로는 광섬유 통신, 정밀 센싱, 컴퓨터 마우스, 레이저 프린터, 스마트폰, 자동차, 방위, 의료 등이 언급됩니다.

- 운영 모델: 장비의 개발, 제조, 유통 및 유지보수를 수행합니다. AET 그룹의 일부로, 재료의 개발, 변형, 특성 분석 및 재활용을 위한 열 처리 장비 포트폴리오를 보유하고 있습니다.

- 고객 및 파트너: 연구 개발(R&D) 및 제조 현장을 대상으로 합니다. 버클리 대학교, 카디프 대학교, CNRS/LAAS(프랑스 국립 과학 연구 센터/시스템 분석 및 구조 연구소)와 같은 과학 기관과 협력하고 있습니다.